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平行平晶

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：平行平晶,以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平行平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。

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功能特點(diǎn) 技術(shù)參數(shù)

相對(duì)測(cè)量的平行度。

平行平晶,以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平行平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。

規(guī) 格	精度	塊數(shù)
0-25	0.6μm	4
25-50	0.6μm	4
50-75	0.6μm	4
75-100	1.0μm	4

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